1 引言
‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢æŠ€æœ¯æ˜¯åœ¨æ¿€å…‰ç†”覆技术和快速原型技术基¼‹€ä¸Šå‘展è“væ¥çš„一¿Uæ— æ¨¡å¿«é€Ÿåˆ¶é€ æŠ€æœ¯ï¼Œå…ähœ‰å‘¨æœŸçŸã€æˆæœ¬ä½Žã€æ€§èƒ½é«˜ç‰ä¸€¾pÕdˆ—½H出特点åQŒç‰¹åˆ«é€‚ç”¨äºŽä¼ ¾lŸæœºæ¢°åŠ å·¥æ–¹å¼éš¾ä»¥å®Œæˆçš„夿‚形状ã€éš¾åŠ å·¥ææ–™é›¶äšgçš„åŠ å·¥æˆå½¢ã€?br/>
‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢å®žé™…上是激光æŸã€ç²‰æœ«ææ–™ã€åŸºä½“å’Œæ°”ä½“ä¹‹é—´ç›æ€º’作用的结果。æˆå½¢è¿‡½E‹çš„æŒç®‹½E›_®š˜q›è¡Œž®†å—åˆ°è¯¸å¤šå› ç´ çš„å½±å“ã€‚å› æ¤ï¼Œåˆ†æžåР工傿•°åŠå…¶è€¦åˆä½œç”¨å¯ÒŽˆå½¢æž„ä»¶å°ºå¯¸ç²¾åº¦å’Œæ€§èƒ½çš„åª„å“规律,òq‰™€šè¿‡å¯ÒŽ¿€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸æ‰€å‘生的典型物ç†çŽ°è±¡è¿›è¡Œæ·±å…¥ç ”½IÓž¼Œä»¥å®žçް坹é‡è¦˜q‡ç¨‹å‚é‡çš„æœ‰æ•ˆæŽ§åˆÓž¼Œž®†æ˜¯‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢ç ”½I‰™¢†åŸŸæ‰€é¢äÍçš„é‡è¦æŠ€æœ¯æŒ‘战ã€?br/>
2 ‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸çš„é—环控åˆ?br/>
2.1 é—çŽ¯æŽ§åˆ¶åŠæ¿€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢çš„å½±å“å› ç´
é—çŽ¯æŽ§åˆ¶æ˜¯ç”±ä¿¡å·æ£å‘通èµ\å’Œå馈通èµ\æž„æˆçš„é—åˆå›žè·¯è‡ªåŠ¨æŽ§åˆ¶ç³»¾lŸï¼Œå³ä»Žè¾“出é‡å˜åŒ–å–出控制信å·ä½œä¸ºæ¯”较é‡å馈¾l™è¾“入端控制输入é‡ï¼Œé€šè¿‡æ¯”较¾pÈ»Ÿè¡Œäؓ与期望行ä¸ÞZ¹‹é—´çš„åå·®, òq¶æ¶ˆé™¤å差以获得预期的系¾lŸæ€§èƒ½ã€‚é—环控制系¾lŸä¸»è¦ç”±æŽ§åˆ¶å™¨ã€å—控对象和å馈通èµ\æž„æˆåQŒæ—¢å˜åœ¨ç”Þp¾“入到输出的信å·å‰å‘通èµ\, 也包å«ä»Žè¾“出端到输入端的信å·å馈通èµ\åQŒä¸”ä¸¤è€…çš„ç›æ€½ç›¸ååQŒå› æ¤ï¼Œé—环控制¾pÈ»Ÿåˆç§°ä¸ºå馈控制系¾lŸã€‚与开环控制系¾lŸç›¸æ¯”,é—环控制¾pÈ»Ÿå…ähœ‰å¾ˆå¼ºçš„æŠ‘制干扰能力,对èÊY件特性å˜åŒ–䏿•感åQŒåƈ能改善系¾lŸçš„å“应ç‰ÒŽ€§ï¼Œåªè¦è¢«æŽ§é‡å¼›»è§„定å€û|¼Œž®×ƒ¼šäº§ç”Ÿç›¸åº”的控制作用去消除åå·®ã€?br/>
‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹å—åˆ°å¾ˆå¤šå› ç´ çš„å½±å“åQŒè¿™äº›å› ç´ ä¸»è¦åŒ…括激光功率ã€å…‰æ–‘å°ºå¯¸ã€æ¿€å…‰æŸæ¨¡å¼ã€ä¿æŠ¤æ°”体æµé‡ã€ç²‰æœ«ä¼ 输气体æµé‡ã€æ‰«æé€Ÿåº¦ã€é€ç²‰é‡ã€ææ–™æ€§èƒ½åQˆå¸æ”¶çއã€çƒä¼ 导率和熔点½{‰ï¼‰ã€ç²‰æœ«ç‰¹æ€§ï¼ˆé¢—ç²’ž®ºå¯¸åˆ†å¸ƒå’ŒåÅžçŠÓž¼‰ã€å•å±‚é«˜åº¦ã€ææŽ¥é‡å’Œæˆå½¢è½¨˜q¹ç‰ã€‚è¿™äº›å› ç´ éƒ½ä¸åŒ½E‹åº¦çš„媄å“了æˆåÅžæž„äšg的质é‡ï¼Œä¸”å¯é€šè¿‡ä¸€äº›è¿‡½E‹è¾“出å‚é‡ï¼ˆå¦‚ç†”æ± çš„å½¢çŠ¶å’Œå°ºå¯¸ã€ç†”æ± æ¸©åº¦ã€ç†”æ± å†·å´é€Ÿçއã€ç‰¼›Õd体ç‰åQ‰ä½“现出æ¥ã€‚å› æ¤ï¼Œåœ¨æˆå½¢è¿‡½E‹ä¸å¯¹è¾“出å‚é‡è¿›è¡Œå®žæ—¶ç›‘‹¹‹ï¼Œòq¶å°†ç›‘测信æ¯ç”¨äºŽåé¦ˆè°ƒèŠ‚å·¥è‰ºå‚æ•°åQŒä»¥æ¤å¯ä»¥å®žçŽ°æ¿€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹çš„é—环控制ã€?br/>
2.2 æˆåÅžæž„äšgž®ºå¯¸¾_‘Öº¦é—环控制
æˆåÅžæž„äšgçš„å°ºå¯¸ç²¾åº¦ä¸»è¦æ˜¯ç”Þq†”æ± åŞ状和ž®ºå¯¸æŽ§åˆ¶åQŒè€Œç†”æ± çš„å½¢çŠ¶å’Œå°ºå¯¸åˆä¸Žæ¿€å…‰åŠŸçŽ‡å’Œé€ç²‰çއç‰å› ç´ å¯†åˆ‡ç›¸å…³ã€‚å› æ¤ï¼Œåˆ©ç”¨è¡¨é¢å½¢æ€åž®„æŠ€æœ¯å¯¹ç†”æ± è¡¨é¢å½¢å˜˜q›è¡Œæ˜‘փ和测é‡ï¼Œòq‰™€šè¿‡æå–å½¢å˜ä¿¡æ¯åé¦ˆæŽ§åˆ¶å·¥è‰ºå‚æ•°åQŒå°±å¯ä»¥å®žçްæˆåÅžæž„äšgž®ºå¯¸æŽ§åˆ¶ã€‚è€Œç†”æ± çš„å½¢æ€å˜åŒ–也å¯åˆ©ç”¨æ¿€å…‰ä¸‰è§’测é‡åŽŸç†å¯¹ç†”æ± é™„è¿‘å·²ç†”è¦†ç‚¹å’Œæœªç†”è¦†ç‚¹çš„é«˜åº¦å·®è¿›è¡Œå®žæ—¶æ£€‹¹‹ï¼Œé€šè¿‡å±‚厚信æ¯åé¦ˆæŽ§åˆ¶å·¥è‰ºå‚æ•°åQŒæ¥è°ƒæŽ§å•层熔覆厚度。但˜q™äº›æŽ§åˆ¶˜q‡ç¨‹æ˜¯åœ¨å¼€çޝæ¡ä»¶ä¸‹˜q›è¡Œçš„ã€?br/>
¾ŸŽå›½å¯†è¥¿æ ¹å¤§å¦CLIAMå®žéªŒå®¤åˆ©ç”¨ç†”æ± è‡ªå‘å…‰ã€å°ç›®æ ‡çš„特性å‘展了é™åˆ¶æœ€å¤§æ²‰¿U¯é«˜åº¦çš„é—环控制¾pÈ»Ÿã€‚该¾pÈ»Ÿä¸»è¦ç”±å…‰å¦ä¼ 感器和å馈信å·å¤„ç†å™¨¾l„æˆåQŒå…¶æŽ§åˆ¶çš„ä¸»è¦æ€æƒ³æ˜¯å½“‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸äº§ç”Ÿ˜q‡æ²‰¿U¯æ—¶èƒ½å¤Ÿå¿«é€Ÿå“应é™ä½Žæ¿€å…‰åŠŸçŽ‡æˆ–é€ç²‰çŽ‡ã€‚å®žçŽ°æŽ§åˆ¶çš„ä¸»è¦˜q‡ç¨‹æ˜¯å…‰å¦ä¼ æ„Ÿå™¨é‡‡é›†ç†”æ± å›‘ÖƒåQŒåƈå¯ÒŽ£€‹¹‹å›¾åƒè¿›è¡Œå®žæ—¶è¯Šæ–分æžï¼Œåœ¨å…‰å¦ä¼ 感器ä¸å›¾åƒçš„ä½ç½®åæ˜ äº†ç†”æ± çš„é«˜åº¦å˜åŒ–ã€‚å½“ç†”æ± çš„é«˜åº¦é«˜äºŽé¢„å®šçš„é«˜åº¦æ—Óž¼Œä¼ 感器æ•èŽïL†”æ± å›¾åƒï¼Œç„¶åŽž®†ç›¸åº”的信å·ä¼ 输至信å·å¤„ç†å™¨å’Œæ¿€å…‰åŠŸçŽ‡æŽ§åˆ¶å™¨æˆ–ç²‰æœ«ä¼ è¾“ç³»¾lŸï¼Œé™ä½Ž‹È€å…‰åŠŸçŽ‡æˆ–é€ç²‰çŽ‡ï¼Œä½¿è¶…˜q‡é¢„å®šé«˜åº¦çš„åŒºåŸŸåœæ¢æ²‰ç§¯,使该处ä¸å†å¢žé«˜ï¼Œç›´åˆ°æˆåÅžä»¶å„部分高度å‡åŒ€ä¸€è‡´ã€‚图1为其控制¾pÈ»Ÿ½Cºæ„图ã€?/span>
å›? ‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢æŽ§åˆ¶ç³»¾lŸç¤ºæ„图
在激光快速æˆå½¢è¿‡½E‹ä¸åQŒç”±äºŽå·¥è‰ÞZ¸½E›_®šè€Œäñ”生凹凸,在多‹Æ¡å±‚å åˆ¶é€ è¿‡½E‹ä¸ž®×ƒ¼šå½¢æˆæ¶æ€§åó@环, 凹处‘Šå‡¹ã€å‡¸å¤„越凸,严é‡å½±å“了æˆå½¢æž„件的刉™€ ç²¾åº¦ã€‚äØ“æ¤ï¼Œæ¸…åŽå¤§å¦å®å›½åº†ç‰é‡‡ç”¨¾U¢å¤–é«˜åº¦ä¼ æ„Ÿå™¨å¯¹æ²‰ç§¯é«˜åº¦˜q›è¡Œäº†æ£€‹¹‹ï¼Œòq‰™€šè¿‡è°ƒèŠ‚é€ç²‰çŽ‡å®žçŽ°å¯¹æˆåÅž˜q‡ç¨‹é€ç²‰é‡çš„é—çŽ¯æŽ§åˆ¶ã€‚äØ“äº†è§£å†›_‘é€é€ç²‰é‡æŽ§åˆ¶ä¿¡å¯‚‡³é€ç²‰ç”‰|œºå“应的åšgæ—‰™—®é¢˜ï¼Œä»–们采用了如下ç–略:在å‰ä¸€ç†”覆层记录凸èµïL‚¹åQŒåœ¨ä¸‹ä¸€å±‚æ ¹æ®å‰ä¸€å±‚çš„è®°å½•æ•°æ®æå‰¾l™å‡ºé€ç²‰é‡çš„æŽ§åˆ¶ä¿¡å·åQŒç²‰æœ«ç»ä¼ é€åšg˜qŸåŽæ£å¥½åœ¨å‡¸èµïL‚¹åˆ°è¾¾ç†”æ± ã€‚æå‰é‡è¦æ ¹æ®æ¿€å…‰æ‰«æé€Ÿåº¦ã€æ€Èš„延迟旉™—´ã€é€ç²‰é‡æŽ§åˆ¶ç³»¾lŸçš„æŽ§åˆ¶å‘¨æœŸä»”细计算åQŒåƈ¾lè¿‡å®žéªŒæ ¡æ£ã€‚结果对熔覆层高度的‹‚€‹¹‹å’Œå¯šw€ç²‰é‡çš„é—环控制大大æé«˜äº†æ¿€å…‰ç›´æŽ¥åˆ¶é€ 过½E‹çš„½E›_®šæ€§å’Œè´¨é‡ã€?br/>
2.3 ç†”æ± æ¸©åº¦çš„é—环控åˆ?br/>
ç†”æ± æ¸©åº¦æ˜¯åª„å“æˆå½¢æž„ä»¶è´¨é‡çš„é‡è¦å› ç´ ã€‚ç†”æ± æ¸©åº¦è¿‡ä½Žï¼Œç”׃ºŽ¾_‰æœ«é¢—粒未能充分熔化åQŒå°†å¯ÆD‡´æˆåÅžæž„äšg致密性é™ä½Žï¼Œä¸¥é‡å½±å“æˆåÅžæž„äšg¾l„ç»‡æ€§èƒ½ã€‚è€Œç†”æ± æ¸©åº¦è¿‡é«˜ï¼Œå¿…å°†å¢žå¤§ç†”æ± çš„å°ºå¯¸ï¼Œä»Žè€Œå¯¼è‡´æˆå½¢æž„件尺寸精度的é™ä½Žã€‚å› æ¤ï¼Œå¯¹ç†”æ± æ¸©åº¦è¿›è¡Œé—环控制是改善æˆåÅžè´¨é‡å’Œç²¾åº¦ä¸€ä¸ªé‡è¦æŽªæ–½ã€?br/>
D. R. Hand½{‰é‡‡ç”¨åŒè‰²é«˜æ¸©è®¡å¯¹ç†”æ± æ¸©åº¦è¿›è¡Œäº†å®žæ—¶ç›‘æµ‹åQŒç»“æžœå‘现篿U¯æ¸©åº¦å¯¹æˆåÅžè´¨é‡æœ‰è¾ƒå¤§åª„å“,通过实时调整‹È€å…‰åŠŸçŽ‡å®žçŽîCº†å¯¹ç†”æ± æ¸©åº¦çš„é—环控制ã€?br/>
¾ŸŽå›½Dongming Hu½{‰åˆ©ç”¨CCDæ‘„åƒæœºå¯¹ç†”æ± åŠå…¶å‘¨å›´åŒºåŸŸ˜q›è¡Œ¾U¢å¤–æˆåƒåQŒé€šè¿‡å›‘փ的ç°åº¦åˆ†æžåŠæ ‡å®šåQŒå¾—åˆîC¸Žæ¸©åº¦åˆ†å¸ƒç›¸å¯¹åº”çš„ç°åº¦åˆ†å¸ƒåQŒåƈ用有é™å…ƒæ³•å¾ç«‹äº†ç†”æ± çƒè¡Œä¸ºæ¨¡åž‹ï¼Œé€šè¿‡æŽ§åˆ¶‹È€å…‰å™¨çš„输出功率和扫æé€Ÿåº¦å®žçŽ°å¯¹ç†”æ± çš„é—环控制åQŒä»Žè€ŒèŽ·å¾—äº†é«˜åº¦å’Œå®½åº¦å‡åŒ€ä¸€è‡´çš„æˆåÅžæž„äšg。沈阌™‡ªåŠ¨åŒ–ç ”ç©¶æ‰€åˆ©ç”¨åŒæ‡L长辞®„图åƒçš„æ¯”色法进行温度的‹¹‹é‡åQŒå®žçŽîCº†ç†”æ± æ¸©åº¦çš„å®žæ—¶ç›‘‹¹‹ï¼Œòq¶ç ”½I¶äº†ç†”æ± æ¸©åº¦‹È€å…‰åŠŸçŽ‡ã€æ‰«æé€Ÿåº¦ä»¥åŠé€ç²‰é‡ä¹‹é—´çš„关系åQŒä»Žè€Œå®žçŽ°ç†”æ± æ¸©åº¦åœºçš„æ£€‹¹‹ä¸ŽæŽ§åˆ¶ã€?br/>
2.4 ¾_‰æœ«ä¼ 输½E›_®šæ€§çš„é—环控制
¾_‰æœ«ä¼ 输½E›_®šæ€§æ˜¯å½±å“æˆåÅžæž„äšgž®ºå¯¸¾_‘Öº¦å’Œè¡¨é¢ç²—¾p™åº¦çš„é‡è¦å‚é‡ã€‚ç›®å‰ï¼Œ¾_‰æœ«ä¼ 输½E›_®šæ€§æŽ§åˆ¶ä¸»è¦æ˜¯ž®†äºŒæžç®¡‹È€å…‰å™¨å‘å‡ºçš„æ¿€å…‰æŸæ¨ªå‘½I¿è¿‡¾_‰æœ«‹¹ï¼Œç„¶åŽè¢«å…‰ç”µäºŒæžç®¡æŽ¥æ”¶ã€‚当é€ç²‰‹¹é‡å‘生波动æ—Óž¼Œç”׃ºŽ¾_‰æœ«å¯ÒŽ¿€å…‰çš„æ¼«å°„ã€å¸æ”¶å’Œå射的改å˜ï¼Œä»Žè€Œå¯¼è‡´å…‰ç”µäºŒæžç®¡æ‰€æŽ¥å—的激光能é‡å‘生å˜åŒ–,其输出电压也éšä¹‹æ”¹å˜ã€‚利用输出电压和é€ç²‰çŽ‡ä¹‹é—´çš„å®šé‡å…³ç³»åQŒå³å¯å®žçްé€ç²‰çŽ‡çš„å®žæ—¶ç›‘æµ‹ä¸ŽæŽ§åˆ¶ã€‚å›¾2为é€ç²‰çŽ‡å®žæ—¶ç›‘‹¹‹è£…¾|®ç¤ºæ„图ã€?br/>
å›? é€ç²‰çŽ‡å®žæ—¶ç›‘‹¹‹è£…¾|®ç¤ºæ„图
2.5 æ²‰ç§¯ææ–™æˆåˆ†çš„é—环控åˆ?br/>
‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸åˆé‡‘æˆåˆ†çš„实时监‹¹‹ä¸ŽæŽ§åˆ¶æ˜¯èŽ·å¾—æ‰€è®¾è®¡¾l„织和性能的先å†Ïx¡ä»Óž¼Œä¹Ÿæ˜¯å½“剋Ȁ光快速æˆå½¢é¢†åŸŸæ‰€é¢äÍ的一™åšw‡è¦æŠ€æœ¯æŒ‘战。激光快速æˆå½¢è¿‡½E‹ä¸åŒ…å«ç€å¤æ‚的相互作用,其ä¸å…¸åž‹ç‰©ç†çŽ°è±¡æ˜¯æ¿€å…‰ä¸Žæ²‰ç§¯ææ–™ç›æ€º’作用所产生的牼›Õd体。牼›Õd体在旉™—´å’Œç©ºé—´ä¸Šçš„æ¼”化å¯åˆ†æˆ½{‰ç¦»å体形æˆã€è‡ªç”Þq”µå与¼›Õd釿–°å¤åˆå’ŒåŽŸå驰豫三个瞬æ€é˜¶ŒDüc€‚高能激光æŸä½œç”¨äºŽæ²‰¿U¯ææ–™ï¼Œé¦–先通过“多光å叿”¶â€ç”µ¼›Õd‡ºž®‘é‡çš„“诱å‘â€ç”µå,电ååœ¨æ¿€å…‰ç”µåœºçš„åŠ é€Ÿä½œç”¨ä¸‹ä¸Žå…¶ä»–åŽŸå碰撞,å‘生雪崩ç”늦»åQŒæœ€¾lˆåÅžæˆé«˜æ¸©é«˜åŽ‹ç‰¼›Õd体。牼›Õd体åÅžæˆåˆæœŸï¼ŒéŸ§è‡´è¾å°„å’Œå¤åˆè¾ž®„å ä¸ÖM½“åQŒè¡¨çŽîCØ“å¼ø™¿ž¾l背景谱。而åŽå„ç§å…ƒç´ 的原åå’Œ¼›Õd开始辞®„出相应的特å¾è°±¾U¿ï¼Œ˜q™äº›è°Þqº¿å åŠ åœ¨è¿ž¾l背景辞®„上。éšç€½{‰ç¦»å体逿¸è†¨èƒ€å’Œå†·åß_¼Œ˜qžç®‹èƒŒæ™¯è¾å°„˜q…速衰å‡ï¼Œå„ç§å…ƒç´ 的原åè°±¾U¿å’Œ¼›Õdè°Þqº¿å˜å¾—‘Šæ¥‘Šçª„åQŒè¶Šæ¥è¶Šå¼±ï¼Œä½†ä¿¡å·ä¸ŽèƒŒæ™¯çš„å¼ºåº¦æ¯”å€¼é€æ¸å¾—到改善。最åŽåŽŸå光谱和¼›Õd光谱¾~“慢衰å‡åQŒæ¥è‡ªå•分åçš„å…ƒç´ è°±¾U¿å¼€å§‹å‡ºçŽ°ã€‚ç”±äºŽè°±¾U¿ä¿¡å·å¼ºåº¦ä¸Žå…ƒç´ çš„å«é‡å…·æœ‰ä¸€å®šçš„é‡åŒ–关系åQŒå› æ¤é€šè¿‡åˆ†æžè°Þqº¿çš„强度å³å¯å®žçŽ°å…ƒç´ å®šé‡åˆ†æžã€?br/>
‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢ç‹¬ç‰¹çš„工艺˜q‡ç¨‹ä½¿å…¶å…‰è°±åˆ†æžæœ‰ç€è‡ªèín的特点,˜q™ä¸»è¦ä½“现在以下两个斚w¢åQšä¸€æ˜¯æ¿€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢å¤šé‡‡ç”¨˜qžç®‹æ³¢æ¿€å…‰æŸåQŒå…¶èƒ½é‡å¯†åº¦ç›¸å¯¹è¾ƒä½ŽåQŒç‰¼›Õd体连¾l辞®„背景较弱,è°Þqº¿çš„轮廓清晎ͼŒ½Iºé—´åˆ†èöL率高åQŒæ— 需带门控探‹¹‹å™¨˜q›è¡Œå»¶è¿Ÿ‹¹‹é‡åQ›äºŒæ˜¯æ¿€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸å§‹ç»ˆä¼´éšç€½{‰ç¦»å体的äñ”ç”Ÿï¼Œå› æ¤åQŒé€šè¿‡å…‰å¦é‡‡é›†¾pÈ»Ÿå’Œå…‰è°×ƒÈA对牼›Õd体呞®„è°±¾U¿çš„˜qžç®‹é‡‡é›†å’Œæ—¶½Iºåˆ†è¾¨ï¼Œå¤„ç†å™¨å¯¹å…ƒç´ è°Þqº¿å¼ºåº¦ä¸Žå®šæ ‡æ›²¾U¿çš„实时å¯Òޝ”åQŒåƈ通过åé¦ˆä¿¡å·æŽ§åˆ¶å„æ–™½{’çš„é€ç²‰é‡ï¼Œä»¥æ¤å¯å®žçŽ°å¯¹æ•´ä¸ª‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸åˆé‡‘æˆåˆ†çš„定é‡åˆ†æžä¸ŽæŽ§åˆ¶ã€‚图3为激光快速æˆå½¢è¿‡½E‹ä¸½{‰ç¦»å体光谱‹¹‹é‡½Cºæ„图。图4所½CÞZØ“‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢Ti-Feåˆé‡‘½{‰ç¦»å体å‘å°„è°Þqº¿å¼ºåº¦ä¸Žæˆåˆ†ä¹‹é—´å…³¾pÀL›²¾UÑ€?/span>
å›? ‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸½{‰ç¦»å体光谱‹¹‹é‡½Cºæ„å›?/strong>
å›? 钛铽{‰ç¦»å呞®„è°±¾U¿å¼ºåº¦æ¯”-é’›é“é‡é‡æ¯”å…³¾pÀL›²¾U?/strong>
3 ¾l“æŸè¯?br/>
‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢æŠ€æœ¯è¦˜q›å…¥å¤§è§„模工½E‹åº”用,必须å¯ÒŽˆå½¢è¿‡½E‹è¿›è¡Œå®žæ—¶ç›‘控,òq¶æ ¹æ®åé¦ˆç»“æžœå¯¹å·¥è‰ºå‚æ•°ä¸æ–åŠ ä»¥ä¿®æ£åQŒåÅžæˆæ¿€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢çš„é—环控制åQŒä»¥¼‹®ä¿æˆåÅž˜q‡ç¨‹çš„稳定性与¾l“果的å¯é 性,从而实现激光快速精密æˆå½¢åŠæˆåÅž˜q‡ç¨‹çš„æ™ºèƒ½åŒ–ã€‚äØ“æ¤ï¼Œä»ŠåŽ‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢é—环控制系¾lŸç ”½I¶çš„工作é‡ç‚¹ä¸»è¦åŒ…æ‹¬ä»¥ä¸‹å‡ ä¸ªæ–šw¢åQ?br/>
1) ‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹å—å¾ˆå¤šå› ç´ çš„åª„å“ï¼Œä¸”è¯¸å› ç´ é—´å˜åœ¨ç€å¤æ‚的耦åˆç›æ€º’ä½œç”¨ã€‚å› æ¤ï¼Œ¾pÈ»Ÿç ”ç©¶è¯¸å› ç´ å¯¹æˆåÅžè´¨é‡çš„媄å“è§„å¾‹ï¼Œæ·±å…¥æŽ¢è®¨å› ç´ é—´è€¦åˆä½œç”¨å†…在机制åQŒå¯¹‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸é—环控制å…ähœ‰é‡è¦çš„ç†è®ºå’Œå®žéªŒæŒ‡å¯¼ä½œç”¨åQ?br/>
2) ž®†ææ–™æˆåˆ†è®¾è®¡å’ŒCAD设计相èžåˆï¼Œåˆ©ç”¨‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸å‘生的典型物ç†çŽ°è±¡å‘展新的检‹¹‹æŠ€æœ¯ï¼Œòq‰™€šè¿‡˜q‡ç¨‹å‚é‡ä¿¡å·åé¦ˆæŽ§åˆ¶ç‰¹å®šå·¥è‰ºå‚æ•°åQŒå®žçްæˆå½¢æž„件微观组¾l‡é—环控åˆÓž¼›
3) 采用先进的控制技术,实现‹È€å…‰å¿«é€Ÿæˆå½¢è¿‡½E‹ä¸å¤šå› ç´ çš„å®žæ—¶æŽ§åˆ¶åQŒä»¥æé«˜æˆåÅž˜q‡ç¨‹çš„稳定性和å¯é 性ã€?/span>
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